導(dǎo)讀：2016年10月9日，從成都高新區(qū)獲悉，家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)項(xiàng)目《超光滑表面無(wú)損檢測(cè)儀》正式啟動(dòng)。家科技部高新技術(shù)研究發(fā)展中心、中工程物理研究院、四川省科技廳、成都市科技局、成都高新區(qū)科技局相關(guān)負(fù)責(zé)人以及光學(xué)行業(yè)相關(guān)專家近百人參加了啟動(dòng)儀式。

據(jù)了解，《超光滑表面無(wú)損檢測(cè)儀》是家“十三五”重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)項(xiàng)目，分別獲得家科技部2000萬(wàn)、成都高新區(qū)200萬(wàn)元資金支持，有企業(yè)牽頭，協(xié)同內(nèi)多家技術(shù)實(shí)力雄厚的大學(xué)、研究所和企業(yè)形成產(chǎn)、學(xué)、研、用相結(jié)合的項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)共同實(shí)施。超光滑表面無(wú)損檢測(cè)儀主要用于高精度非接觸測(cè)量，可以廣泛應(yīng)用于高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導(dǎo)體制造、半導(dǎo)體照明以及太陽(yáng)能新能源電池等基片、彎曲度、表面質(zhì)量等關(guān)鍵參數(shù)的快速檢測(cè)，還可應(yīng)用于大型現(xiàn)代光學(xué)工程系統(tǒng)。據(jù)介紹，該項(xiàng)目將通過(guò)專項(xiàng)帶動(dòng)，集成內(nèi)優(yōu)勢(shì)力量重點(diǎn)創(chuàng)新，解決高精度超光滑表面無(wú)損檢測(cè)的關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)高端超光滑表面無(wú)損檢測(cè)儀器產(chǎn)化，替代外同類產(chǎn)品，打破外公司的技術(shù)壟斷和價(jià)格壁壘。

成都高新區(qū)科技局相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，獲得家重大科技創(chuàng)新項(xiàng)目立項(xiàng)支持且家撥款資金到位的成都高新區(qū)企業(yè)，可按照撥資金實(shí)際到位額的10%進(jìn)行配套資助申請(qǐng)，同一項(xiàng)目申請(qǐng)金額高不超過(guò)200萬(wàn)元，同一家企業(yè)同一年度申請(qǐng)?jiān)擃愘Y金額度高不超過(guò)200萬(wàn)元。

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